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機臺自動跑位、量測與報表輸出
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· 觸控面板 · 太陽能板 · 晶圓 · 微機電組件 | · 高密度線路印刷電路板 · IC封裝 · 多種量測功能：微結構輪廓、尺寸、孔穴深度、 斷差膜厚、高度差、角度、粗糙度、平整度 |
檢測實例
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| 盲孔-深度10um | 彩色濾光片-深度2.5um | 雷射切割道-深度27um |
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| 電阻-階高差214um | LED縫圖-最大高度差23um | |
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